style="width:3.86002in;height:1.78662in" />GB/T 29658—2013 本文是学习GB-T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运
输、存贮、订货单(或合同)等内容。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本标
准。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本标准。
GB/T 1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 15823 无损检测氦泄漏检测方法
GB/T 20975.25 铝及铝合金化学分析方法
第25部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
JB/T 4734 铝制焊接容器
YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 871 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
3.1.1
按照应用领域分为：半导体布线用高纯溅射靶材、半导体封装用高纯溅射靶材、平板显示器用高
纯溅射靶材和太阳能电池用高纯溅射靶材。
3.1.2 按照结构形式分为单体和焊接两种。
3.1.3 按外形分为圆形、矩形和三角形等。
3.2.1
根据合金材料不同，可分为纯铝靶、铝硅合金靶、铝铜合金靶、铝硅铜合金靶四种靶材。
3.2.2 高纯铝合金靶中合金元素含量应不超过规定成分的±10%。
3.2.3 铝靶合金成分及杂质元素要求应符合表1规定。
表 1 铝靶合金成分和对应的杂质元素
|
|
|
|
|
||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
GB/T 29658—2013
表1(续)
|
|
|
|
|
|||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
GB/T 29658—2013
表1(续)
|
|
|
|
|
|||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|||||||||||
铝靶的晶粒尺寸应符合表2规定，并且晶粒分布均匀。
表 2 铝靶晶粒尺寸要求
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|---|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|||
|
|
|
||
|
|
|||
|
|
|
||
|
|
|||
|
||||
铝靶内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方生产工艺保证。需方有特殊要求时按
GJB 1580A 执行。
铝靶的常规焊接方法为钎焊、扩散焊和电子束焊。钎焊、扩散焊质量应符合表3的规定，电子束焊
质量应符合表4的规定。需方如有特殊要求时，应由供需双方协商确定，并在订货单(或合同)中具体
注明。
GB/T 29658—2013
表 3 焊接质量要求
|
|
|
|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
表 4 电子束焊接质量要求
|
|
|---|---|
|
|
|
|
铝靶尺寸及结构方式一般根据需方提供图纸确定，经供需双方协商确定并在订货单(或合同)中注
明后。如果需方图纸未提供允许偏差，则铝靶尺寸允许偏差应符合GB/T1804
要求。
铝靶表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等
缺陷。
4.1.1 合金元素按照 GB/T 20975.25 规定的方法进行检测。
4.1.2 金属杂质元素、P 的分析方法按照 YS/T 871 规定的方法进行检验。
4.1.3 气体元素 H、O、N、C 和 S 的分析方法按照GB/T 14265 执行。
style="width:0.51999in;height:0.54648in" />
铝靶的晶粒尺寸检验按照GB/T 6394 执行。
铝靶的内部质量的检验按GJB 1580A 执行。
4.4.1 钎焊、扩散焊按 YS/T 837 的规定检验。
4.4.2 电子束焊质量氦泄漏检测方法按GB/T 15823 执行，水压检测按JB/T
4734 中的方法执行。
产品外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的测量工具进行测量。
铝靶外观质量采用目视检查，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。
style="width:3.86002in;height:1.78662in" />GB/T 29658—2013
5.1.1
铝靶应由供方进行检测，保证产品质量符合本规范或订货单(合同)的规定，并填写质量证明书。
5.1.2
需方应对收到的铝靶按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准(或订货合同)的规定不
符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需
双方共同进行。
产品应成批提交验收。每批应由同一生产批、同种成分和规格的产品组成。
5.3.1
铝靶出厂前应进行全面检测。检验项目、取样位置、取样数量应符合表5规定。
表 5 铝靶检测项目、取样及数量
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5.3.2 晶粒尺寸测定取样
圆形靶坯、矩形靶坯和三角靶坯在边缘位置进行取样，取样示意图如图1所示。
style="width:3.2in;height:3.1867in" />
a) 圆形靶坯
b) 矩形靶坯
style="width:2.81328in;height:2.87342in" />
c) 三角形靶坯
图 1 铝靶坯取样示意图
GB/T 29658—2013
5.4.1 化学成分检测不合格时，则判该锭生产的靶材不合格。
5.4.2
晶粒尺寸抽检合格，判该批合格；抽检不合格时，判该件不合格；再从同批产品中加倍抽样进行
复检，若复检全部合格，判该批其余产品合格；若复检不合格，则判该批不合格。
5.4.3
内部质量检测、焊接质量检测、尺寸检测、外观质量检任何一项不合格时，判该件产品不合格。
6 标志、包装、运输、贮存及质量证明书
6.1.1
在检验合格的铝靶上，将公司标志、成分及生产批号刻在产品指定位置。
6.1.2 在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：
a) 供方厂名厂址：
b) 公司标志；
c) 产品名称；
d) 纯 度 ；
e) 客户名称；
f) 订单编号；
g) 物料编号；
h) 生产批号；
i) 出厂日期；
j) 其他要求内容。
6.2.1
铝靶的清洗、干燥及内包装应在洁净间内进行。靶材经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空
包装，真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄露。
6.2.2
外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘
贴于包装盒上。
6.2.3 包装产品应保存于清洁的环境中。
运输及贮存过程中，应注意防振、防潮、防压、防止二次污染。
每批产品应附有质量证明书，注明：
a) 供方名称、地址、电话、传真；
b) 产品名称；
c) 纯度；
d) 客户名称；
e) 订单编号；
f) 客户编号；
g) 生产批号；
h) 分析检测结果和品质部门负责人的合格判定；
GB/T 29658—2013
i) 出厂日期；
j) 其他要求内容。
订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容：
a) 产品名称；
b) 纯度；
c) 化学成分、物理性能、表面质量等特殊要求；
d) 规格；
e) 数量；
f) 标准编号；
g) 其他需要协商或增加标准以外要求的内容。
更多内容 可以 GB-T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材. 进一步学习